鼎企--模组平行度+行程精度光谱共焦+高端激光检测方案

针对精密模组制造过程中上方表面、侧边表面平行度以及前后移动行程精度的检测需求，采用SCI系列光谱共焦传感器（SCI 10015）配合1拖2控制器，利用大光斑特性有效过滤表面划痕干扰，精准测量上表面与侧边平行度；同时采用SG高端点激光位移传感器配合1拖4控制器（GL5001），对模组前后平移行程进行高精度追踪。系统支持触发测量值归零与数据寄存，自动生成EXL表格，实现装配精度与运动精度的双重管控。